专利名称：气体输送系统专利类型：实用新型专利
发明人：郑修锋,解毅,朱义党,胡可绿,王华钧,忻圣波申请号：CN201220434914.5申请日：20120829公开号：CN202758844U公开日：20130227
摘要：本实用新型涉及半导体制造装置，尤其是一种气体输送系统，它包括连接至气源的气体入口、连接至反应腔的气体出口；连接于气体入口与气体出口之间的过滤器；连接于过滤器与气体出口之间的流量控制阀；连接于过滤器与流量控制阀之间的止回阀。本实用新型的优点是：止回阀能够阻挡返流气体，使得返流气体不会对过滤器造成影响，能够保证过滤器的性能不受影响，一方面降低由于更换过滤器带来的成本增加，另一方面确保后续生产中气体的纯净，使得其局部放电性能不受影响，保证生产的成品率。
申请人：上海宏力半导体制造有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：郑玮
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容