专利名称：一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装
置
专利类型：实用新型专利发明人：黄昌盛,徐美婷,楼允洪申请号：CN201721712564.3申请日：20171211公开号：CN207634655U公开日：20180720
摘要：本实用新型公开了一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及壳体，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，壳体内设置有磁流体密封装置，传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，壳体上还设置有NPT卡套水接头。本实用新型水冷循环系统的设置，可有效的降低传动轴温度，确保传动轴正常工作，金属密封圈的设置，提高密封效果，ISO标准法兰的设置，便于装卸，提高工作效率。
申请人：杭州维科磁电技术有限公司
地址：310012 浙江省杭州市西湖区古翠路76号怡泰科技大厦501室
国籍：CN
代理机构：杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人：吴秉中
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