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一种银纳米线柔性透明导电薄膜的图形化方法[发明专利]

时间:2023-10-08 来源:乌哈旅游
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种银纳米线柔性透明导电薄膜的图形化方法专利类型:发明专利

发明人:徐苗,黄东晨,李民,王磊,邹建华,陶洪申请号:CN201710203606.9申请日:20170330公开号:CN107093500A公开日:20170825

摘要:本发明公开了一种银纳米线柔性透明导电薄膜的图形化方法,包括以下步骤:(1)在衬底上通过溶液加工方法形成银纳米线透明导电薄膜;(2)根据图案化需求,通过喷墨打印的方式在银纳米线透明导电薄膜上制备图形化的抗酸性氧化物保护层,并对抗酸性氧化物保护层进行固化;(3)采用刻蚀液对透明导电薄膜处理,将未被抗酸性氧化物保护层覆盖的银纳米线透明导电薄膜刻蚀去除,从而得到图案化的柔性透明导电薄膜。本发明通过制备抗酸性无机薄膜作为水氧阻隔层并且作为银纳米线图案化过程中起到掩膜保护的作用,从而可以减少光刻工艺,简化工艺流程。

申请人:华南理工大学

地址:510640 广东省广州市天河区五山路381号

国籍:CN

代理机构:广州市华学知识产权代理有限公司

代理人:陈文姬

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