一种波像差测量标记及波像差测量方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210183465.6 （22）申请日 2012.06.06

（71）申请人 上海微电子装备有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

（10）申请公布号 CN103472676A

（43）申请公布日 2013.12.25

（72）发明人 马明英;段立峰

（74）专利代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司

代理人 王光辉

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种波像差测量标记及波像差测量方法

（57）摘要

本发明提出一种波像差测量物面标记，形

成在光刻机系统的掩模上，其特征在于该物面标记包括光栅标记和小孔标记，光栅标记和小孔标记分别在标记面上排成列，每个光栅标记和每个小孔标记构成一组标记并且排成一行。同时还提出了使用该物面标记测量波像差的方法。由于本发明的波像差测量物面标记既包括光栅标记，又包括小孔标记，在通过剪切干涉条纹测量波像差的同时，通过小孔标记测量剂量，从而提高了波

像差测量精度，减小了光强不均匀性对波像差检测精度的影响。

法律状态

法律状态公告日

2013-12-25 2013-12-25 2014-01-22 2014-01-22 2015-11-18 2015-11-18 2017-12-05

法律状态信息

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说明书

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