专利名称：晶圆平坦化单元专利类型：发明专利
发明人：顾海洋,古枫,杨思远,张志军申请号：CN201811466539.0申请日：20181203公开号：CN109262444A公开日：20190125
摘要：本发明公开了晶圆平坦化单元，包括抛光平台底架和位于其上方的抛光平台，抛光转台设置在抛光平台上，抛光摆臂带动抛光头在抛光转台上摆动，抛光液喷撒臂，修整器摆臂，晶圆装卸台架子以及位于其上方的晶圆装载台。上述部件中仅晶圆装卸台架子和晶圆装载台两个部件位于平坦化单元外罩的外部，其余部件都位于平坦化单元外罩的内部。平坦化单元外罩上设有移动门，抛光摆臂带动抛光头可通过移动门到晶圆装载台上方进行晶圆装卸。上述抛光摆臂的驱动机构可以整体位于抛光平台的上方或下方。本发明将装卸晶圆装置从内部加工区域分离，在中间增加自动移门防护隔离，以防加工区域的液体对已完成加工，在等待清洗的晶圆进行二次污染。
申请人：杭州众硅电子科技有限公司
地址：311305 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
国籍：CN
代理机构：上海元好知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容