专利名称：用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器专利类型：发明专利
发明人：余坤祺,张泷,P·哈恩,D·格莱斯,A·亚图拉威特申请号：CN201910073286.9申请日：20190125公开号：CN110085269A公开日：20190802
摘要：公开了一种用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器，包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、以及上电极层。下电极层是位于PZT层的底表面上并且包括第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛。第二下电极岛包含从主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。中电极层在PZT层的顶表面与约束层的底表面之间设置。中电极层包括第一中电极岛以及第二中电极岛，所述第二中电极岛包含从所述主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。
申请人：马格内康普公司
地址：美国加利福尼亚
国籍：US
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：李隆涛
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