基于硅的传感器系统

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN00815380.9 （22）申请日 2000.09.06

（71）申请人 声扬灵比股份有限公司

地址 丹麦孔恩斯灵比

（10）申请公布号 CN1203726C （43）申请公布日 2005.05.25

（72）发明人 M·米伦博恩;J·F·库曼;P·U·舍尔 （74）专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司

代理人 罗朋

（51）Int.CI

H04R19/04;

//19/00,19/02,25/00,19/01;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

基于硅的传感器系统

（57）摘要

本发明涉及固态基于硅的电容式话筒

系统，该系统适于批量生产。与现有技术中公开的任何其它系统相比，形成该话筒系统的不同元件的组合更灵活。话筒系统不同元件之间的电连接采用倒装片式技术经硅载体经济且可靠地建立。本发明使用一种集成的电子电路芯片，优选一种专用集成电路(ASIC)，它可分开地并与该话筒的换能器元件的设计和制造无关地设计和制造。完整的

传感器系统可借助表面安装技术以朝向与上述对环境的接口不矛盾的系统一侧的接触与外部衬底电连接。这允许用户将简单且有效的表面安装技术应用于整个系统的装配。 法律状态

法律状态公告日

2002-12-25 2002-12-25 2003-03-12 2003-03-12 2003-06-18 2003-06-18 2003-06-18 2005-05-25 2005-05-25 2012-12-12 2012-12-12 2012-12-12 2012-12-12 2017-06-09 2017-06-09

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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权利要求说明书

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说明书

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