专利名称：基于激光照射不同材料对表面微结构成型影响的研
究方法
专利类型：发明专利
发明人：张俐楠,郭子望,吴立群,王洪成,程从秀申请号：CN201711339146.9申请日：20171214公开号：CN108318485A公开日：20180724
摘要：基于激光照射不同材料对表面微结构成型影响的研究方法，其按如下步骤：步骤一：利用飞秒激光照射硅基板，硅基板形成表面凸起；步骤二：基于相场模型理论，构建数学模型，对硅基板凸起成型实验进行仿真分析；步骤三：选取导热系数不同的其他材料基板，重复步骤一及步骤二，获得不同材料基板凸起成型的规律。本发明利用飞秒激光照射硅基板产生表面凸起，并使用三维数值模型，即相场法去模拟和预测激光成型硅基表面形态，进而提出一种发明思路，飞秒激光照射其它材料形成的凸起是否符合相同的成型规律。
申请人：杭州电子科技大学
地址：310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道2号大街1158号
国籍：CN
代理机构：杭州千克知识产权代理有限公司
代理人：周希良
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